真空爐石墨爐床板——高溫工藝的終極解決方案

真空爐石墨爐床板——高溫工藝的終極解決方案
1.極致耐高溫
      3000℃+ 安穩(wěn)工作 ，無(wú)軟化變形，適用于超高溫?zé)Y(jié)、熔煉等嚴(yán)苛環(huán)境。
      低熱膨脹系數(shù) ，避免熱應(yīng)力開裂，確保長(zhǎng)期結(jié)構(gòu)安穩(wěn)性。
2.均勻熱場(chǎng)分布
      高導(dǎo)熱石墨材料，快速均勻傳熱 ，削減工件受熱不均導(dǎo)致的變形或缺陷。
      適用于單晶生長(zhǎng)、CVD堆積 等對(duì)溫度均勻性要求極高的工藝。
3.超高強(qiáng)度 & 輕量化
      抗壓強(qiáng)度≥50MPa ，可承載重型工件（如大型合金鑄錠、陶瓷坯體）。
      分量?jī)H為金屬床板的1/5 ，下降設(shè)備負(fù)載，節(jié)能高效。
4.超長(zhǎng)運(yùn)用壽數(shù)
      抗氧化涂層 （可選SiC、ZrO?），明顯下降高溫氧化損耗。
      耐化學(xué)腐蝕 ，抵抗酸/堿氣氛腐蝕，壽數(shù)是傳統(tǒng)材料的3-5倍。
5.定制化規(guī)劃
      支撐異形開槽、孔位精準(zhǔn)加工 ，匹配不同爐型與工件需求。
外表可拋光至Ra≤1.6μm，避免污染高純材料（如半導(dǎo)體硅片）。
典型運(yùn)用場(chǎng)景
      半導(dǎo)體 ：SiC單晶生長(zhǎng)、GaN外延片支撐
      新能源 ：鋰電池負(fù)極材料燒結(jié)、光伏硅片熱處理
      航空航天 ：鈦合金真空釬焊、高溫合金熔煉
      科研 ：超高溫實(shí)驗(yàn)（如石墨烯制備、金屬粉末冶金）

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